双轴加速度计
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侵彻武器用MEMS大g值加速度计
侵彻武器穿入地面等坚硬物质的加速度可达重力加速度的2 万倍至几十万倍， 要求所用加速度传感器既能抗击该工作环境， 又能识别冲击与钻入的整个过程。美国侵彻武器用MEMS 大g 值加速度计属电容传感器，...
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电容式微加速度计的气膜阻尼分析
针对电容式微加速度计中的气膜阻尼问题，基于稀薄气体动力学理论和滑流修正的压膜雷诺方程，分析了敏感质量块在轴向运动中受到的气膜阻尼效应，得到了阻尼力和阻尼系数的简化解析解。研究结果表明，敏感质量块...