华米科技
华米(北京)信息科技有限公司于2014-07-11在海淀分局登记成立。法定代表人黄汪,公司经营范围包括技术开发、技术服务、技术咨询、技术转让、技术推广等。
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本书集作者多年来的实践经验与研究成果,系统地介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、X射线曝光技术、各种刻蚀技术和微纳米尺度的复制技术,对各种加工技术着重讲清原理,列举基本的工艺步骤,说明各种工艺条...
2022-07-10
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2013-12-25
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2024-02-02
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