用于地球物理勘探的MEMS加速度传感器
传统速度检波器由于内在结构的限制,其技术性能已不能满足现代高分辨率地震勘探数据采集的要求。美国I/ O 公司利用MEMS 技术研制开发的加速度传感器具有良好的频率响应特性,可在检波器内部进行模/ 数转
2024-05-04
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