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光刻机 的查询结果
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还是光刻机的内部算法，激光器的控制,使用积分加滤波
技术资料 光刻机双工件台系统上位机软件设计
集成电路、半导体元器件等超精密器件已经被广泛应用在各行各业中，而光刻机作为研制和生产超精密器件的主流设备也变得尤为重要。双工件台系统是光刻机的关键子系统。光刻机双工件台系统的控制系统主要由上位机和下位机两部分组成。下位机指采用VME总线的工控机系统，包含运行若VxWorks系统的PowerPC处理器和多块控制板卡， ...