光刻技术

集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。

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2022-08-09 9 光刻技术

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2014-07-27 191 光刻技术

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2022-11-23 2 光刻技术