光刻技术

集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将电路图形传递到单晶表面或介质层上,形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。

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2022-09-04 3 光刻技术

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2023-10-12 1 光刻技术

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2024-01-23 9 光刻技术