光刻技术

集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将电路图形传递到单晶表面或介质层上,形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。

资源总数
500

光刻技术 热门资料

查看全部 500 份 →

作者将Fourier变换光谱学的超分辨率谱估计问题看作是对干涉信号中包含的谐波频率与振幅的估计,并在Prony谐波分析技术的启发下提出了基于系统特征值分析与线性拟合的超分辨率谱估计方法EALF,它由总体最小二乘参数估计、特征值分析频率估计和...

2025-05-11 7 光刻技术