光刻技术

集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。

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本文介绍了有着蚀刻结构的光纤传感器在应变测量以及薄结构振动测量中的应用和检测机理. 并且在非对称蚀刻结构的光纤曲率传感器的基础上提出了分布式光纤模态曲率传感器研究.关键词:蚀刻结构(敏感区)

2024-02-01 5 光刻技术

利用多模光纤缠绕钢绳式传感阵列网络，对智能材料与结构的受力，应变等状态参量进行监测和估计，并采用光时域反射(OTDR)技术实时处理并行分布式传感信号，给出了识别结果。关键词：光纤传感器；智能材

2024-04-21 10 光刻技术

《紫外成像检测技术》该论文提出一种新型的紫外成像检测系统. 此系统利用紫外增强技术和紫外滤光技术观察和检测紫外光信号. 详细介绍了系统的关键技术:紫外镜头、紫外“日盲”滤光技术、紫外增强技术和光谱转换技术,给出了紫外成像检测系统的研制实例,...

2015-10-19 65 光刻技术