光刻技术

集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将电路图形传递到单晶表面或介质层上,形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。

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详细阐述了液晶光栅的工作原理及两类液晶光栅的结构设计和制作工艺,分析了它们 的优缺点及其应用情况。并对液晶光栅在空间光通信中的应用做了展望。

2024-05-22 2 光刻技术

集成电路、半导体元器件等超精密器件已经被广泛应用在各行各业中,而光刻机作为研制和生产超精密器件的主流设备也变得尤为重要。双工件台系统是光刻机的关键子系统。光刻机双工件台系统的控制系统主要由上位机和下位机两部分组成。下位机指采用VME总线的工...

2023-09-11 9 光刻技术