集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将电路图形传递到单晶表面或介质层上,形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。
电子技术基础,内容简单易学、易懂,是电子爱好者的好教材
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