电容式微型真空传感器在真空绝热板生产中的应用研究
介绍一种基于电容式微型真空度检测系统。系统利用PIC 系列单片机对真空绝热板真空进行实时测量,试验数据表明精度可达10-2Pa,完全满足测量的要求。
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介绍一种基于电容式微型真空度检测系统。系统利用PIC 系列单片机对真空绝热板真空进行实时测量,试验数据表明精度可达10-2Pa,完全满足测量的要求。
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