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查看全部 500 份 →Si基膜片型气敏传感器微结构单元的热学性能
微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化和易批量生产等优点而受到国内外研究者的广泛关注。利用微机电系统(MEMS) 加工技术,制备Si 基膜片型微结构单元,并分析其热学性能。这种单元工作区温度为
2024-01-20
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湿敏电容传感器在气象领域中应用的分析研究
本文从高湿性能、湿度特性和时间稳定性几个方面分析研究了应用在气象领域的三种湿敏电容传感器的性能，提出了应用已气象常规观测领域的湿度传感器必须进行的六项基本试验及试验方法。
2024-02-01
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