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完整讲解芯片的制造过程：温洗、光刻、离子注入、干蚀刻、温蚀刻、等离子冲洗、热处理、化学气相淀积等

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作者：何亮，刘扬论文摘要：氮 化 镓 (G a N )材 料 具 有 优 异 的 物 理 特 性 ，非 常 适 合 于 制 作 高 温 、高 速 和 大 功 率 电 子 器 件 ，具 有 十 分 广 阔 的 市场前景 。 S i衬 底 上 G a N 基 功 率 开 关 器 件 是 目 前 的 主 流 技 术 路 线 ，其 中 结 型 栅 结 构 （p 型 栅 ）和 共 源 共 栅 级 联 结 ...

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       IDAQ-8098 控温模块是专为精确控温应用而设计的，采用多 CPU 方案实现采集和 PID 控制分开工 作，采用 Modbus 通信协议，通过 RS-485 通信接口下载控温参数，并实时监测被控温区实时温度、控温 状态和数字量输入输出状态，还可以控制控温的启停等功能。启动控温后，模块能够按照设定的控温参数 ...

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