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分析了阳极键合技术的原理和当前阳极键合技术的研究进展,综述了微传感器对阳极键合的新需求,展望了阳极键合技术在传感器领域的应用前景。关键词:阳极键合; 传感器; 硅片
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基于硅结构的微流体控制系统(μFCs) 是微机电系统(MEMS) 中的一个重要分支,可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域。主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理及其国
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技术资料 120生化样品中β22激动剂克伦特罗检测技术研究进展
对生化样品中β22激动剂克伦特罗的检测技术及其进展进行了综述。样品前处理中,固相萃取、膜分离、超临界流体萃取、基质固相分散技术得到迅速发展和广泛应用。气相色谱2质谱、液相色谱、毛细管电泳、免疫分
技术资料 光纤传感技术在结构工程检测中的应用
简要介绍了光导纤维及其传感原理,对利用光纤传感技术检测钢筋混凝土结构养护期的热应变和温度、结构内部应力应变、结构的振动参数、裂缝宽度和结构整体性估计等方面的方法和原理作了详细分析和讨论,综述了国内外发