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选用4000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘接键合工艺试验，解决了圆片级封装问题，采用该技术成功加工出具有三层结构的圆片级封装某种惯性压阻类传感器。依据标准GJB548A对其进行了剪切强度和检漏测试，测得封装样品漏率小于5×10pa·cm3／s，键合强度大于49 N，满足考核要求。 ...

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技术资料  微纳米加工技术及其应用

本书集作者多年来的实践经验与研究成果，系统地介绍了微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、X射线曝光技术、各种刻蚀技术和微纳米尺度的复制技术，对各种加工技术着重讲清原理，列举基本的工艺步骤，说明各种工艺条件的由来，并注意给出典型上艺参数，充分分析了各种技术的优缺点 ...

https://www.eeworm.com/dl/839023.html

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机械五金  机械制造工艺基础

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机械五金  现代表面处理新工艺、新技术与新标准

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机械五金  机械加工工艺师手册

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通信技术  超声加工及其应用

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通信技术  高功率激光加工及其应用

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CAD ＣＡＸＡ制造工程师实体造型生成曲面的数控加工进退刀方法的探讨

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