The TD310 is a triple MOS or IGBT driver which
integrates all functions suited for compact and
以有限元仿真实验为基础, 通过高介电常数介质在ECT 传感器内不同分布时灵敏场的比较研究, 结果表明, 传感器内部各处灵敏度变化不仅与管内高介电常数介质的大小和分布有关, 还与该点在灵敏场中所处
介绍了几种高g 值M EM S 加速度传感器敏感元件的结构和原理, 并对其结构特性进行了分析, 最后给出了研究过程中所采用的圆膜片结构和仿真结果。
关键词:M EM S; 加速度传感器,