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中国/科技/信息/上海/装备/零部件/研究/取得/重要/进展/当前/位置/技术/前沿/综合/上海/装备/零部件/研究/取得/重要/进展/发布/时间/来源/中国/科学/技术/信息/研究/加工/整理/中国/科学/日报/满足/我国/装备/零部件/国产/要求/上海/科学/技术/委员会/支持/近期/上海/定位/激光/干涉/硅片/缺陷/自动/检测/激光/分子/激光/系统/部分/关键/技术/研究/取得/重要/进展/定位/激光/干涉/项目/研究/研究/课题/开展/通过/研究/取得/专利/完成/关键/技术/攻关/原理/实验/工作/基础/研制/激光/干涉/样机/验收/专家/认为/该项/研制/成功/精度/扫描/投影/硅片/定位/检测/具有/重要/意义/激光/干涉/同时/具有/范围/高分/精度/高速/允许/光源/通道/优点/在先/制造/国防/尖端/领域/获得/广泛/应用/极大/规模/集成电路/机工/自由/实时/精密/测量/不可/关键/技术/核心/部件/硅片/缺陷/自动/检测/研究/工作/研究/研究/所在/课题/开展/研制/成功/硅片/缺陷/自动/检测/实验室/样机/倾斜/激光/扫描/散射/检测/技术/高效/数值/散射/收集/光电/检测/技术/提高/探测/灵敏/获得/关键/技术/方面/获得/突破/取得/专利/技术/检测/设备/具有/破坏/高速/高分/特点/目前/半导体/制造/行业/主流/硅片/缺陷/实时/检测/过程/控制/关键/设备/验收/专家/认为/样机/研制/成功/对于/改变/我国/大规模/集成电路/专用/检测/设备/长期/依赖/进口/局面/研制/开发/具有/自主/知识/产权/国产/设备/取得/重要/进展/激光/分子/激光/系统/部分/关键/技术/研究/研究/所在/课题/开展/他们/该项/研究/中共/取得/专利/完成/关键/技术/攻关/原理/实验/工作/建立/用于/分子/激光/均匀/测试/平台/标准/方法/对准/分子/激光/进行/压缩/实现/宽度/研制/分子/激光/均匀/脉冲/均匀/优于/该项/现已/通过/上海/科委/组织/验收/完成/分子/激光/国产/具有/重要/意义/发表/评论/打印/智能/检索/全文/检索/类比/检索/高级/检索/检索/帮助/推荐/信息/相关/评论/相关/科技/信息/相关/动态/信息/