rfdh.inp

美国berkeley大学开发的有界等离子体粒子1d3v计算机模拟程序,很实用

RF DISCHARGE (IN MKS UNITS)---(A1/A0 = 225.)--      
This inputdeck simulates a RF discharge; to vary the electrodo ratio area,
change the values of r1 and/or r0. 
With ion and electon-neutral collisions (Hydrogen Atom)

-nsp---nc---nc2p---dt[s]-----r0[m]---r1[m]-----epsilonr--
  2   100    1e8  7.8125e-10  0.01   0.15        1.0

-rhoback[C/m^3]---backj[Amp/m^2]---dde--extR[Ohm]--extL[H]---extC[F]--q0[C]-
     0.0               0.0         0.0    0.0       0.0       1e-11    0.0 

-dcramped--source--dc[V|Amp]--ramp[(V|Amp)/s]---ac[V|Amp]---f0[Hz]--theta0[D]-
   0          v       0.0          0.0            500.0      1e7       0.0     

---secondary----e_collisional--i_collisional----reflux----nfft--
	    0             1		  	   2         	 0	     256

---seec(electrons)---seec(ions)---ion species---Gpressure[Torr]---GTemp[eV]---
         0.0            0.2			2	        5e-2            .05					
											
ELECTRON-NEUTRAL COLLISIONAL PARAMETERS-----

--selsmax[m^2]---elsengy0[eV]---elsengy1[eV]---elsengy2[eV]-
 	 1.0e-19         0.0             0.0           10.0     	

--sextmax[m^2]---extengy0[eV]---extengy1[eV]---extengy2[eV]---
	 1.0e-20        12.0     	  50.0    	  100.0    

--sionmax[m^2]---ionengy0[eV]---ionengy1[eV]---ionengy2[eV]---
     1.0e-20		 13.6	       60.0	       110.0

ION-NEUTRAL COLLISIONAL PARAMETERS-----

---achrgx[m^2]--bchrgx[m^2/V^1/2]-------ascat[m^2]--bscat[m^2/V^1/2]---
  	 3.0e-19		   0.0			   2.0e-19	   0.0         


SPECIES 1:

----q[C]-------m[Kg]---j0L[Amp/m^2]---j0R[Amp/m^2]----initn[m^-3]--
 -1.602e-19   9.11e-31     0.             0.0           2e12       

--v0L[m/s]--v0R[m/s]--vtL[m/s]--vtR[m/s]--vcL[m/s]--vcR[m/s]--vtperp[m/s]--
    0.0      0.0       1e5       1e5        0.0       0.0     	 1e5  

---nbin----Emin[eV]----Emax[eV]
    50       0	      100


SPECIES 2:

----q[C] ------m[Kg]---j0L[Amp/m^2]---j0R[Amp/m^2]----initn[m^-3]--
  1.602e-19   1.67e-27    0.              0.0           2e12       

--v0L[m/s]--v0R[m/s]--vtL[m/s]--vtR[m/s]--vcL[m/s]--vcR[m/s]--vtperp[m/s]---
	0.0      0.0       1e4       1e4       0.0        0.0	   	 0.0

---nbin----Emin[eV]----Emax[eV]
    50       0	      100