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电容式微加速度计的气膜阻尼分析

  • 资源大小:329 K
  • 上传时间: 2024-04-11
  • 上传用户:canderile
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: 电容式 微加速度计 分析

资 源 简 介

针对电容式微加速度计中的气膜阻尼问题,基于稀薄气体动力学理论和滑流修正的压膜雷诺方程,分析了敏感质量块在轴向运动中受到的气膜阻尼效应,得到了阻尼力和阻尼系数的简化解析解。研究结果表明,敏感质量块

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