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TiO2薄膜氧敏元件的研究与发展

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综述了TiO2 氧敏传感器的发展概况、氧敏机理，并对以不同方法制备的TiO2 氧敏器件性能进行了比较，分析了如何提高氧传感器的性能，并对TiO2 氧敏传感器今后的发展和研究提出了几点建议。

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