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MDPSAS工具箱是马里兰大学开发的 - 资源详细说明
MDPSAS工具箱是马里兰大学开发的，基于MATLAB的一套面向对象的模块化仿真工具箱。包含半导体生产过程中的许多对象，对于研究学习是很好的指导材料。
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