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温教授的热岛itedResonan吨实货iconM微结构压力传感器
<P>针对一种以方形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件; 采用电阻热激励、<BR>压敏电阻拾振的压力微传感器, 分析了其工作机理; 依幅值、相位条件讨论了该谐振式微传感器的闭环自激系统;