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基于VC++6.0的电子束曝光控制系统

  • 资源大小:201 K
  • 上传时间: 2024-04-23
  • 上传用户:moh2000
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: 加工 电子束

资 源 简 介

随着纳米科技的迅速发展,下一代光刻技术在微细加工领域发挥着日益重要的作用。
作为复杂半导体加工主要手段之一的电子束曝光系统,需要稳定完善的控制软件来保证其正常运行。本文介绍了电子束曝光控制系统的

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